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無(wú)塵車(chē)間可以分為以下幾個(gè)級(jí)別:
一、 1級(jí)無(wú)塵車(chē)間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對(duì)集成電路的精確要求為亞微米。
二、 10級(jí)無(wú)塵車(chē)間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
三、百級(jí)無(wú)塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植入體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù), 包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。
四、千級(jí)無(wú)塵車(chē)間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測(cè)試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
五、萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
六、100000級(jí)十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于很多的工業(yè)部門(mén),如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無(wú)塵車(chē)間。
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