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電子半導(dǎo)體凈化車間工程--昆山清陽(yáng)凈化工程
社會(huì)信息化和互聯(lián)網(wǎng)正在對(duì)人類經(jīng)濟(jì)和社會(huì)生活產(chǎn)生革命性影響, 而半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)則是互聯(lián)網(wǎng)和信息化的基礎(chǔ)和核心。 進(jìn)入21世紀(jì),信息產(chǎn)業(yè)已成為世界經(jīng)濟(jì)中規(guī)模最大、發(fā)展最為迅猛的產(chǎn)業(yè)。2001年初在瑞士達(dá)沃斯召開的“世界經(jīng)濟(jì)論壇年會(huì)”上,許多經(jīng)濟(jì)學(xué)家認(rèn)為,人類正在進(jìn)入以信息網(wǎng)絡(luò)為核心的“新經(jīng)濟(jì)”時(shí)代。 所謂“新經(jīng)濟(jì)” 的概念, 源于“網(wǎng)絡(luò)經(jīng)濟(jì)”的出現(xiàn),而“網(wǎng)絡(luò)”是以計(jì)算機(jī)和通訊為依托的,其生存和發(fā)展的每一步都離不開半導(dǎo)體芯片技術(shù)的支持與更新。誰(shuí)擁有了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),誰(shuí)就擁有了世界的未來(lái)。 因此,發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)我國(guó)來(lái)說(shuō)具有重要的戰(zhàn)略意義。 但是, 我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步較晚, 不但技術(shù)水平落后, 在管理上也存在很大的空白。 在尋求技術(shù)革新的同時(shí), 有效提高生產(chǎn)制造過(guò)程的管理水平,探索技術(shù)與管理相結(jié)合的發(fā)展道路, 將是積極推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的有效途徑。
半導(dǎo)體潔凈廠房是公認(rèn)生產(chǎn)管理最為復(fù)雜的工廠之一,因?yàn)槠渖a(chǎn)過(guò)程有許多異于傳統(tǒng)的工藝特性,例如工件再回流的現(xiàn)象、成批加工、作業(yè)等候時(shí)限、高良率要求、機(jī)臺(tái)高當(dāng)機(jī)率等,以致于一般都將交期不準(zhǔn)、 在制品過(guò)高、周期時(shí)間過(guò)長(zhǎng)等問(wèn)題歸咎于其生產(chǎn)管理的復(fù)雜度高及系統(tǒng)的不穩(wěn)定。同時(shí),晶圓制造屬于資本密集型產(chǎn)業(yè),其設(shè)備投資龐大, 運(yùn)作成本高昂,使得投資者極為重視投資效益,不愿任何一臺(tái)設(shè)備閑置而浪費(fèi)產(chǎn)能,于是不斷追求所有設(shè)備的完全利用,其績(jī)效指標(biāo)的追求除了交期、 WIP及周期時(shí)間外,還要求機(jī)臺(tái)的使用率。這些顯然已經(jīng)不是技術(shù)層面上可以解決的問(wèn)題,而是生產(chǎn)制造過(guò)程管理的問(wèn)題 。
生產(chǎn)制造過(guò)程的管理按其內(nèi)容可分為生產(chǎn)系統(tǒng)的性能評(píng)價(jià)、生產(chǎn)計(jì)劃和車間層控制。這幾個(gè)問(wèn)題是相互關(guān)聯(lián)的,性能評(píng)價(jià)是評(píng)估現(xiàn)有系統(tǒng)(配置固定)的性能,而不是優(yōu)化系統(tǒng)性能的某些指標(biāo),它常評(píng)價(jià)不同設(shè)備配置及瓶頸設(shè)備附加能力對(duì)生產(chǎn)線的影響,是生產(chǎn)計(jì)劃、車間層控制的重要輸入,也是優(yōu)化系統(tǒng)配置的主要指導(dǎo)。 生產(chǎn)計(jì)劃一般指高層長(zhǎng)期生產(chǎn)能力的安排和分配。車間層控制是生產(chǎn)計(jì)劃的細(xì)化和實(shí)現(xiàn),它將基于能力的較長(zhǎng)期計(jì)劃轉(zhuǎn)化為實(shí)際工件的實(shí)時(shí)加工序列。一般來(lái)說(shuō), 車間層控制有兩類決策任務(wù): 一類是決定何時(shí)投入多少工件進(jìn)入生產(chǎn)線,稱為投料策略,它涉及生產(chǎn)速率、生產(chǎn)能力現(xiàn)狀、實(shí)際定單情況、WIP情況等問(wèn)題,常和實(shí)時(shí)調(diào)度處理統(tǒng)籌考慮。 另一類是安排生產(chǎn)線中各類工件在各類設(shè)備上的實(shí)際加工序列和開始時(shí)間,稱為實(shí)時(shí)調(diào)度策略, 它涉及實(shí)時(shí)設(shè)備狀況、實(shí)時(shí)WIP情況以及產(chǎn)品的工序流程。本文對(duì)半導(dǎo)體晶圓制造車間層控制的內(nèi)容和方法作一介紹。
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