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在工業(yè)生產(chǎn)的廣袤領(lǐng)域中,眾多產(chǎn)品的精心制造都需要在非常潔凈的環(huán)境條件下得以開(kāi)展,像是微電子、半導(dǎo)體等等。唯有如此,才能夠切實(shí)保證產(chǎn)品的優(yōu)良質(zhì)量和出色性能。那么,真空鍍膜這一至關(guān)重要的工藝是否也需要在毫無(wú)塵埃、純凈的潔凈室環(huán)境下進(jìn)行操作呢?潔凈度等級(jí)又該設(shè)置為多少呢?
要精準(zhǔn)地回答這個(gè)問(wèn)題,我們首先需要深入了解究竟什么是真空鍍膜。真空鍍膜實(shí)質(zhì)上是一種將金屬、合金或者化合物置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或者濺射,促使其在被涂覆的物體之上凝固并沉積的獨(dú)特方法。
倘若真空鍍膜所處的環(huán)境當(dāng)中存在著數(shù)量龐大的水蒸氣、細(xì)微的塵埃等各類(lèi)污染物,那么在開(kāi)展設(shè)備的抽真空工作時(shí),就極有可能導(dǎo)致真空度無(wú)法達(dá)到預(yù)先設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)要求。這是因?yàn)榄h(huán)境中的這些污染物會(huì)與真空油發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),進(jìn)而生成能夠腐蝕金屬的物質(zhì),從而給真空鍍膜的具體操作流程和相關(guān)設(shè)備帶來(lái)一系列不良的影響。
因此,我們完全可以得出確切的結(jié)論:真空鍍膜必須在無(wú)塵潔凈的環(huán)境下予以進(jìn)行?;诖?,就需要構(gòu)建具備一定潔凈度等級(jí)的凈化車(chē)間,并且要精細(xì)地控制好車(chē)間內(nèi)部的溫度、濕度、塵埃濃度等關(guān)鍵參數(shù),從而為真空鍍膜的生產(chǎn)操作提供一個(gè)純凈、干凈的優(yōu)良環(huán)境。
真空鍍膜潔凈室的潔凈度通常需要達(dá)到整體萬(wàn)級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格,其中關(guān)鍵的內(nèi)部裝配步驟更是需要在具備百級(jí)的環(huán)境當(dāng)中予以進(jìn)行。此外,室內(nèi)的相對(duì)濕度也需要嚴(yán)格控制在低于 70%的水平。一個(gè)良好的生產(chǎn)和操作環(huán)境毫無(wú)疑問(wèn)是操作能夠順利開(kāi)展以及生產(chǎn)得以高效進(jìn)行的關(guān)鍵所在。萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間要求室內(nèi)塵埃粒子的標(biāo)準(zhǔn)為:0.5μm 小于 352000 個(gè)/m3 、1.0μm 小于 83200 個(gè)/m3 、5.0μm 小于 2930 個(gè)/m3 。百級(jí)無(wú)塵車(chē)間要求室內(nèi)塵埃粒子的數(shù)量為:0.1μm 小于 100000 個(gè)/m3 、0.2μm 小于 23700 個(gè)/m3、0.3μm 小于 10200 個(gè)/m3、0.5μm 小于 3520 個(gè)/m3、1.0μm 小于 832 個(gè)/m3 。
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