芯片潔凈車間裝修工程的靜電和靜電的消除
(一) 靜電的危害
1、 靜電產(chǎn)生電場能擊穿電子和微電子產(chǎn)品造成廢品; 靜電放電產(chǎn)生電磁波會引起電子儀器(計算機和控制設備) 的誤動作, 放電產(chǎn)生火花可使感光材料曝光。
2、 潔凈室內(nèi)靜電的帶電體, 灰塵會依附在其表面, 成為潔凈室的污染源, 影響潔凈室的潔凈度。
3、 潔凈室的靜電聚集放電會誘發(fā)引起火災和爆炸影響潔凈室的安全。 因為凈化車間內(nèi)生產(chǎn)會使用大量的易燃易爆的氣體, 溶劑和有機物, 潔凈室封閉性很強, 人員疏散較困難造成火災, 損失更大。
(二) 靜電的起因
由于某種原因引起電荷移動, 正負電荷失去平衡, 這樣物體就帶有靜電, 造成電荷移動的因素主要有:
1、 接觸帶電: 其中還包括有磨擦帶電、 滾動帶電、 剝離帶電、 噴射帶電等。
2、 感應帶電
3、 流動帶電
4、 電暈帶電
(三) 防靜電措施
1、 無塵車間圍護的防靜電: 即用高導電率材料來建造潔凈室的圍護(墻、 頂、 地) 地面要采用由電阻值為 104~106 Ω 導靜電材料或電阻值為 106~109Ω 的抗靜電材料制作。 主要有良好的接地。墻和頂要采用表面電阻值為 10~10Ω 的鋁蜂窩或巖棉彩鋼板等金屬材料制作。 并要有良好的接地。
2、 人員的防靜電: 潔凈室的作業(yè)人員要穿防靜電的潔凈工作服, 在衣服的織物中加入金屬纖維、 碳素纖維等導電材料。 必要時作業(yè)人員手腕上配帶接地腕環(huán)。
3、 生產(chǎn)工藝允許時還可以用提高潔凈室內(nèi)空氣的相對濕度的辦法來消除靜電。
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